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    AsH3/砷烷分析氦离子气相色谱仪

    产品型号:GC-126PDD/AsH3

    检测范围:ppb级别

    适用行业:

    电子工业用气体

    生产厂家:Chrom Technologies

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    系统依据的相关标准:

    GB/T 26250-2010 电子工业用气休 砷化氢

        GC-126PDD氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-126气相色谱仪为载体,配备VALCO公司生产的氦离子化(PDHID)检测器;采用克柔姆公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术,其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀;上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析解决方案。
        高纯气体的分析是一个复杂的过程,不仅需要高灵敏的检测器,还要考虑样品本身的特性及其背景,如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节,克柔姆色谱公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点,并给出了所有难点的解决措施,使GC-126PDD氦离子化气相色谱仪成为
    工业气体行业的高纯气体分析系统,很好的完成了气体中微量杂质,特别是ppb级的杂质的分析

    Items/检测项目一:  N 2 ≤ 0.20ppm O 2≤ 0.02 ppm Ar≤ 0.02 ppmv SiH 4≤ 0.02ppmv;  

                           CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv H2S ≤ 0.0 3 ppmv  C1C2≤ 0.0 5 ppmv

                            GeH4(锗烷) SiH4(硅烷) PH3(磷烷)H2S

    进样与反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只;

    阀体选:采用VICI 316L不锈钢材质; 气路管线: 1/161/8采用VICI 316L材质

    仪器主要应用于6N砷烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:

    气体种类

    需分析特气的杂质种类

    He

    H2

    O2/Ar

    N2

    CH4

    CO

    CO2

    H2S

     C2SiH4 PH3GeH4Ge2H6C3、C4

    仪器的最小

    检测限(PPb)

    5

    5

    5

    5

    15

    5

    20-30

    5-10